アンリツは、最初のベクトルネットワークアナライザ（VNA）ブロードバンドシステムを発表しました。 VectorStar ME7838AX / EX 最大125GHz（AX）/ 110 GHz（EX）のシングルスイープカバレッジを保証された標準仕様で提供するシリーズシステム。 125 GHzを介して特性化されたデータをスイープして提供するブロードバンドVNAシステムの独自の機能により、設計エンジニアはデバイスモデルを改善して、初回の歩留まりとパフォーマンスを大幅に向上させることができます。
VNAは、オンウェーハアプリケーション用のシステムを設計する通信設計エンジニア、RF、マイクロ波、およびミリ波デバイス、コンポーネント、サブシステムを同じウェーハ上で測定する必要があるオンウェーハ製造施設、および新しい通信を開発する研究者やメーカーを対象としています。技術。
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アンリツは、10 MHz（オプションの70 kHz）から125 GHzまでの5つのブロードバンドVectorStarベースのVNAモデルを提供しており、仕様が保証されています。 以前のVectorStarシステムと比較して追加の7838GHz保証周波数掃引により、ME7838AX、ME4A7838X、ME7838EX、およびME4E122Xは、XNUMXGHzで動作するコンポーネントおよびブロードバンドアプリケーションの正確な検証に対する要求を満たします。
他のVectorStarブロードバンドシステムと同様に、 VectorStar ME7838AX / EXは、単一チャネルで利用可能なほとんどのポイントを使用して、最も広い広帯域周波数と最高の解像度で優れた時間領域分析を提供し、業界最高のミリ波（mmWave）ノイズフロアと120 / 125GHzのダイナミックレンジを備えているとアンリツは述べています。 、校正と測定の安定性は0.05時間で24°、広帯域測定速度は1ポイント、1601 kHzIFBWで10秒です。
さらに、ME7838AX/EX は小型、軽量のミリ波モジュールと互換性があり、ウェハ プローブ ステーション上で簡単かつ正確に位置決めできます。 アンリツによれば、これらは最大のダイナミックレンジと測定の安定性を実現するためにオンウェーハプローブに直接接続できるほどコンパクトな唯一のミリ波モジュールです。 このシリーズには初のミリ波も含まれています モジュール 電子パワーレベリング機能を備え、最大 50 dB の幅広いパワー レベル制御を提供します。
ME7838AX / EXシステムは、2ポートおよび4ポート構成で利用できます。 アンリツは、既存のVectorStarME7838ブロードバンドシステムのお客様にアップグレードパスを提供します。
アンリツは、125 GHzまでの測定をサポートするために、3656GHzを特徴とする125Cシリーズの校正および検証キットも発表しました。 calを含む1つのバージョンが利用可能です。 係数（.ccf）のみ、および検証キットの有無にかかわらず。 アンリツは、検証キットの有無にかかわらず、.sXNUMXpデータベース定義（および.ccf）キャリブレーションキットも提供しています。
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