Hi eventus experimento fidem suam adiuvant ut novos conductores in semi-damascena provectae inter se coniungunt technas integrationis, ubi coniungi possunt cum airgaps ad melioris effectus.
In hac compositione tamen, Joule effectus calefactionis magis magisque momenti fiunt. Hoc praedictum est a collatis experimentalibus et exemplaribus operis in 12-circulis dorsi-finis lineae (BEOL) structurae - novis metallis et airgape exsequendis.
Descendere de logica Technology roadmap ad 1nm et ultra, novarum conductorum materias inductionem requiret in stratis criticis maxime dorsi-finem-of-lineae. Usurae sunt compositiones intermetallicae binariae et ternariae (exempli gratia Al vel Ru fundatae) cum resistivitate inferiore quam metallica elementaria conventionalia (ut Cu, Co, Mo vel Ru) in dimensionibus scalis.
Imec experimentum investigavit mores resistentiae tenuium membranarum aluminidum, in iis AlNi, Al3Sc, AlCu et Al2Cu. In crassitudine 20nm et supra, omnes membranae PVD depositae resistentiae comparabiles demonstraverunt vel humiliores quam Ru vel Mo.
Infima resistivity 9.5µΩcm consecuta est pro 28nm taeniolis AlCu et Al2Cu — valor infra modum Cu. Experimenta etiam provocationes pro aluminide quaesitarum indicaverunt, sicut imperium cinematographici stoichiometriae et oxidationis superficiei.
Imec visum est ad compositiones intermetallicas introducendas in technis semi-damascenis integrationis provectae, quae involvunt directam scyphos metalli exemplaris ad altiorem aspectum rationum linearum consequendam. Praeterea melioramenta in RC mora obtineri possunt paulatim inducendo airgaps partiales vel plenas inter lineas metallicas.
Reponere conventionales low-k dielectrics cum airgape electrically segregans expectatur capacitatem reducere in dimensionibus scalis. Sed airgaps maxime pauperes habent conductivity scelerisque, quae curam Joule calefaciendi ad condiciones operandi levat.
Imec quantam hanc provocavit provocationem faciendo Joule calefactionem 'calibrationis' mensurarum in plano metallico 2-circuli inter connexo et prominens eventus ad structuram 12-circuitum BEOL per exemplar.
Studium praedicat 20% augmentum temperatus cum airgaps. Densitas linearum metallorum inventa est ad munus magni ponderis: densitas metalli superior ostendit auxilium reducere Joule calefactionis.
"Perspectiones hae sunt clavis ad emendandum machinas semi-damascenas metallizationis quasi optionis interconnexarum pro 1nm et ultra," Zsolt Tokei dicit, imec socius et moderator programmatis nano-coniunctis ad imec. "Praeterea, imec dilatat viam instrumenti inter se cum aliis optionibus, incluso metallizatione hybridarum et novarum machinarum mediarum linearum, solvendo provocationes criticas ad processum integrationem et fidem pertinentium."