imec'in Sürdürülebilirlik yaklaşımı çerçevesinde geliştirilen sanal fabrika modeli imec.netzero'nun kullanılması Yarıiletken Teknolojiler ve Sistemler (SSTS) programı imec, litografi ve dağlamanın birlikte gelişmiş mantık düğümü Kapsam 40 ve Kapsam 1 emisyonlarının %2'ından fazlasına katkıda bulunduğunu gösterdi.
imec'ten Emily Gallagher (resimde), "Bu etkiyi azaltmak için önemli araçlar mevcut" diyor ve ekliyor: "örneğin, kuru aşındırma işlemlerinin çoğu, çok yüksek küresel ısınma etkisine sahip olan florlu bileşiklere dayanır ve bu işlemlerle ilişkili doğrudan emisyonlar yüksektir. Tüketimlerini en aza indirmek ve dolayısıyla etkilerini azaltmak için, ultra ince dirençlere ve alt katmanlara, minimum pasivasyona ve aşındırma için düşük işlem sıcaklıklarına olanak tanıyan gelecekteki desenlendirmeye yönelik işlem ve tasarım talimatları sunuyoruz. Bu ilkeleri kullanarak, azaltma öncesinde referans prosese göre proses gazı emisyonlarının ~%6'sına sahip olan Yüksek NA uyumlu bir metal hat aşındırma prosesi adımı gösterdik."
Litografi açısından en büyük zorluk, elektrik üretimiyle ilişkili emisyonlardır. Sonuç olarak, kollar daha yeşil enerji kullanıyor, çoklu desenleme adımlarının sayısını azaltıyor, fotorezist dozunu azaltıyor ve tarayıcı verimini artırıyor.
Gallagher şöyle diyor: "Bir EUV tarayıcının verimi %20 oranında azaltılırsa ve etki gelişmiş bir mantıksal düğüm levhasının tüm süreci boyunca imec.netzero ile modellenirse, %6'nın üzerinde daha fazla Kapsam 2 emisyonu (enerji bileşeni) elde ederiz" diyor Gallagher, " ek olarak, bir EUV düşük-NA litho-gravür-litho-gravür (LELE)'nin işlem yoluyla değiştirilmesi modül Yüksek NA EUV tek maruz kalma eşdeğeri ile emisyonları yaklaşık %30 oranında azaltabilir; bu azalma, süreç adımlarının ortadan kaldırılmasıyla ve High-NA tarayıcının gelişmiş aşamaları ve tahrik lazeriyle ilişkili güç tüketimindeki artışa rağmen elde ediliyor.”
Gallagher şöyle ekliyor: "Sürdürülebilirlik imec için önemli ve bunun SPIE Gelişmiş Litografi ve Desenlendirme konferansında da önem kazanmaya başladığını görmekten memnuniyet duyuyoruz." sürdürülebilirlikten bahsetti ve şimdi, yalnızca altı yıl sonra, konferans sürdürülebilirlik alanında 2018 makale bekliyor; bunların dördü imec'ten geliyor. Geçen yıl küresel iklim rekorları kırıldı, bu nedenle hepimizin örgütler ve bireyler olarak harekete geçmesi çok önemli. Imec, araştırmamız da dahil olmak üzere her düzeyde bu eylemi benimsedi.”