같은 팀이 단결정질 질화 갈륨으로 만든 압력 센서를 따라가며 감도가 350°C 이상으로 떨어졌습니다.
"팀은 감도의 감소가 밴드갭이 충분히 넓지 않기 때문이라고 믿었습니다."라고 휴스턴은 말했습니다. “가설을 테스트하기 위해 그들은 감지기 질화알루미늄으로."
그리고 고품질의 플렉서블 박막 AlN을 합성하고 제조하는 기술적 과제를 처리한 후 "압전 센서 중 가장 높은 작동 온도"를 갖는 장치를 생산했다고 김남인 연구원이 말했습니다.
센서 출력 전압은 73.3°C에서 143.2~50psi의 변동에 따라 200~800mV입니다.
이 외에도 다이어프램 영률의 감소와 자유 캐리어 생성으로 인해 성능이 다소 저하되었습니다.
연구원들은 또한 비교를 위해 다결정 AlN과 단결정 GaN 박막을 만들었다.
AlN은 상당한 화학적, 열적 안정성 및 강도를 제공하며 연구팀에 따르면 AlN 센서는 중성자 노출 대기에서 작동할 수 있으므로 원자력 시설에 도움이 될 수 있습니다.
이 연구는 Advanced Functional Materials에 'Piezoelectric Sensors Operating at Very High Temperatures and in Extreme Environments Made of Flexible Ultrawide-Bandgap Single-Crystalline AlN Thin Films'로 게재되었습니다.