Nanusens passe à l'intégration CMOS pour son capteur MEMS

Mise à jour : 26 mai 2023

« Cela signifie que les deux capteur La structure et son circuit de détection peuvent être réalisés en même temps dans une puce à l'aide de processus CMOS standard sur n'importe quel nœud de processus requis », a déclaré la société Devon, au Royaume-Uni. "En conséquence, les ASIC peuvent désormais être fabriqués avec plusieurs capteurs différents intégrés en leur sein."

Les capteurs sont tous inertiels, avec une masse suspendue.

Parce que c'est un numérique circuit, il peut être adapté au nœud de processus utilisé pour la structure du capteur, a ajouté Nanusens.

Un courant moyen potentiellement inférieur à μA sera tiré par une incarnation de 180 nm de ce IC, selon la société, car le circuit peut fonctionner sur un cycle de service faible, se réveillant en 3 μs.

"Nous sommes déjà en discussion avec des entreprises qui souhaitent licencier cette propriété intellectuelle", a déclaré le co-fondateur Josep Montanyà.

Les capteurs de la société sont construits dans les métaux BEOL (back end of line) d'un circuit intégré, libérés par gravure des couches d'oxyde environnantes.

Basée à Paignton, Nanusens possède des bureaux de R&D à Barcelone et Shenzen. Ses recherches se poursuivent depuis Baolab Microsystems, l'ancienne société des fondateurs.

Alors que « livre blanc » en est parfois venu à signifier « bouillie marketing légère », Naunsens a résisté à la tendance avec un bouchon sur son processus de mems, qui vaut bien une lecture.

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