化学気化機械加工（CVM）として知られるプロセスには、プラズマ中の中性ラジカルとワークピースの表面との間の化学反応が含まれます。
ウェーハ表面に損傷を与えることなく、ナノメートルレベルの厚さ均一性を備えた結晶ウェーハを製造し、コンパクトな石英共振器で使用するための周波数分散が低減された石英ウェーハの大量生産を可能にします。
これらはこれまで電話、ウェアラブル、補聴器、医療機器に使用されていますが、「これは テクノロジー また、京セラは今後、車載電子機器用の低周波発振器、通信基地局用の高周波発振器、運転支援システム用の小型コンポーネントなど、さまざまな製品を開発できるようになります。」と同社は述べた。
この賞は、文部科学省からの2021年の「科学技術賞（開発部門）」であり、研究開発または発明において優れた業績を上げた個人および企業を表彰するものです。社会経済とより高い生活の質に貢献します。