日経アジアによると、住友化学は31月2023日、チップ市場のニーズに応えるため、日本の大阪工場にArFおよびEUVフォトレジストの生産ラインを追加して生産を拡大すると発表した。 XNUMX年前半に生産を開始する予定です。
同時に、韓国の益山に住友化学の完全子会社であるドンウファインケムも、2024年前半に生産を開始する予定の液浸ArF用のフォトレジスト製造室を建設する予定です。
住友商事によると、2024年までにArFフォトレジスト全体の生産能力は1.5年に比べて2019倍に増加するとのことです。