닛케이아시아에 따르면 스미토모화학은 칩 시장 수요에 대응하기 위해 일본 오사카 공장에 ArF와 EUV 포토레지스트 생산 라인을 추가해 생산을 확대할 계획이라고 31일 밝혔다. 2023년 상반기 생산을 시작할 예정이다.
이와 동시에 한국 익산에 있는 스미토모화학의 2024% 자회사인 동우화인켐(Dongwoo Fine-Chem)도 XNUMX년 상반기 생산을 시작할 것으로 예상되는 침지형 ArF용 포토레지스트 생산실을 건설할 예정이다.
Sumitomo에 따르면 2024년까지 전체 ArF 포토레지스트 생산 능력은 1.5년에 비해 2019배 증가할 것입니다.