Nouveau capteur de vide MEMS Pirani conçu pour une intégration OEM rentable

Mise à jour : 8 décembre 2023

Posifa Technologies a présenté aujourd'hui son nouveau transducteur de vide MEMS Pirani de la série PVC4000. Conçu pour une intégration OEM rentable, l'appareil se compose d'un MEMS Pirani à montage en surface capteur et l'électronique de mesure à base de microcontrôleur - le tout emballé dans un assemblage de circuits imprimés ultra-compact avec un faisceau de câbles à connecteur.

L'élément de capteur du PVC4000 est basé sur la puce de conduction thermique MEMS de deuxième génération de Posifa, qui fonctionne selon le principe que la conductivité thermique du gaz est proportionnelle à sa pression de vide. L'électronique de mesure basée sur le microcontrôleur du transducteur amplifie et numérise le signal du capteur, fournissant une sortie via une interface I²C. L'interface permet également aux utilisateurs de stocker des données d'étalonnage dans le microcontrôleur, qui est utilisé par un algorithme de linéarisation par morceaux intégré pour fournir une sortie étalonnée.

Pour compenser les variations de conductivité thermique dues aux changements de température ambiante, le PVC4000 dispose d'un algorithme de compensation de température, qui prend son entrée à partir d'une température intégrée capteur. De plus, un schéma d'excitation pulsée, dans lequel la puce de capteur est chauffée pendant environ 100 ms puis désactivée pendant une seconde, empêche la dérive du signal due à l'auto-échauffement et réduit également la consommation d'énergie du transducteur.

Le transducteur commercialisé aujourd'hui est idéal pour les vacuomètres numériques. Pour ces applications, l'appareil combine une faible consommation d'énergie avec des temps de réponse extrêmement rapides de <1.2 s et une large plage effective de 1 millitorr (0.13 Pa) à 1 atm (760 torr ou 101 kPa). Les lecteurs peuvent contacter Posifa pour discuter des options de personnalisation des spécifications du transducteur.

Samples and production quantities of the PVC4000 are available now. Samples may be requested on the Posifa Technologies contact page.