Đầu dò chân không MEMS Pirani mới được thiết kế để tích hợp OEM tiết kiệm chi phí

Cập nhật: ngày 8 tháng 2023 năm XNUMX

Posifa Technologies hôm nay đã giới thiệu đầu dò chân không MEMS Pirani dòng PVC4000 mới. Được thiết kế để tích hợp OEM tiết kiệm chi phí, thiết bị này bao gồm một MEMS Pirani gắn trên bề mặt cảm biến và thiết bị điện tử đo lường dựa trên bộ vi điều khiển — tất cả được đóng gói trong một cụm PCB siêu nhỏ gọn có bộ dây có đầu nối.

Phần tử cảm biến của PVC4000 dựa trên chip dẫn nhiệt MEMS thế hệ thứ hai của Posifa, hoạt động theo nguyên tắc độ dẫn nhiệt của khí tỷ lệ thuận với áp suất chân không của nó. Thiết bị điện tử đo lường dựa trên bộ vi điều khiển của đầu dò sẽ khuếch đại và số hóa tín hiệu của cảm biến, cung cấp đầu ra thông qua giao diện IXNUMXC. Giao diện này cũng cho phép người dùng lưu trữ dữ liệu hiệu chuẩn trong bộ vi điều khiển, được sử dụng bằng thuật toán tuyến tính hóa từng phần tích hợp để cung cấp đầu ra đã hiệu chỉnh.

Để bù đắp cho sự thay đổi độ dẫn nhiệt do thay đổi nhiệt độ môi trường, PVC4000 có thuật toán bù nhiệt độ, lấy đầu vào từ nhiệt độ tích hợp cảm biến. Ngoài ra, sơ đồ kích thích xung, trong đó chip cảm biến được làm nóng trong khoảng 100 ms và sau đó tắt trong một giây, ngăn chặn sự trôi tín hiệu do tự nóng lên và cũng làm giảm mức tiêu thụ điện năng của đầu dò.

Bộ chuyển đổi được ra mắt ngày hôm nay là thiết bị lý tưởng cho máy đo chân không kỹ thuật số. Đối với các ứng dụng này, thiết bị kết hợp mức tiêu thụ điện năng thấp với thời gian phản hồi cực nhanh <1.2 giây và phạm vi hiệu quả rộng từ 1 millitorr (0.13 Pa) đến 1 atm (760 torr hoặc 101 kPa). Người đọc có thể liên hệ với Posifa để thảo luận về các lựa chọn tùy chỉnh thông số kỹ thuật của đầu dò.

Hiện đã có sẵn các mẫu và số lượng sản xuất của PVC4000. Các mẫu có thể được yêu cầu trên trang liên hệ của Posifa Technologies.