Transduser Vakum MEMS Pirani Baru Dirancang untuk Integrasi OEM Hemat Biaya

Pembaruan: 8 Desember 2023

Posifa Technologies hari ini memperkenalkan transduser vakum MEMS Pirani seri PVC4000 baru. Dirancang untuk Integrasi OEM yang hemat biaya, perangkat ini terdiri dari MEMS Pirani yang dipasang di permukaan Sensor dan elektronik pengukur berbasis mikrokontroler - semuanya dikemas dalam rakitan PCB ultra-ringkas yang dilengkapi dengan rangkaian kabel berujung konektor.

Elemen sensor PVC4000 didasarkan pada chip konduksi termal MEMS generasi kedua Posifa, yang beroperasi dengan prinsip bahwa konduktivitas termal gas sebanding dengan tekanan vakumnya. Elektronik pengukur berbasis mikrokontroler transduser memperkuat dan mendigitalkan sinyal senor, memberikan keluaran melalui antarmuka I²C. Antarmuka juga memungkinkan pengguna untuk menyimpan data kalibrasi di mikrokontroler, yang digunakan oleh algoritme linierisasi sebagian bawaan untuk memberikan keluaran yang dikalibrasi.

Untuk mengimbangi variasi konduktivitas termal karena perubahan suhu sekitar, PVC4000 dilengkapi algoritma kompensasi suhu, yang mengambil inputnya dari suhu bawaan Sensor. Selain itu, skema eksitasi berdenyut, di mana chip sensor dipanaskan selama sekitar 100 ms dan kemudian dimatikan selama satu detik, mencegah penyimpangan sinyal karena pemanasan sendiri dan juga mengurangi konsumsi daya transduser.

Transduser yang dirilis hari ini sangat ideal untuk pengukur vakum digital. Untuk aplikasi ini, perangkat menggabungkan konsumsi daya yang rendah dengan waktu respons yang sangat cepat <1.2 dtk dan rentang efektif yang luas dari 1 millitorr (0.13 Pa) hingga 1 atm (760 torr, atau 101 kPa). Pembaca dapat menghubungi Posifa untuk membahas opsi untuk menyesuaikan spesifikasi transduser.

Sampel dan jumlah produksi PVC4000 tersedia sekarang. Sampel dapat diminta di halaman kontak Posifa Technologies.