Neuer MEMS Pirani Vakuumwandler für kostengünstige OEM-Integration

Update: 8. Dezember 2023

Posifa Technologies hat heute seinen neuen MEMS Pirani-Vakuumwandler der PVC4000-Serie vorgestellt. Das Gerät wurde für eine kostengünstige OEM-Integration entwickelt und besteht aus einem oberflächenmontierten MEMS Pirani Sensor und Messelektronik auf Mikrocontroller-Basis - alles in einer ultrakompakten Leiterplattenbaugruppe mit einem kabelgebundenen Kabelbaum verpackt.

Das Sensorelement des PVC4000 basiert auf dem MEMS-Wärmeleitungschip der zweiten Generation von Posifa, der nach dem Prinzip arbeitet, dass die Wärmeleitfähigkeit von Gas proportional zu seinem Vakuumdruck ist. Die auf Mikrocontrollern basierende Messelektronik des Wandlers verstärkt und digitalisiert das Senorsignal und liefert die Ausgabe über eine I²C-Schnittstelle. Über die Schnittstelle können Benutzer auch Kalibrierungsdaten im Mikrocontroller speichern, der von einem integrierten stückweisen Linearisierungsalgorithmus verwendet wird, um eine kalibrierte Ausgabe bereitzustellen.

Um Schwankungen der Wärmeleitfähigkeit aufgrund von Änderungen der Umgebungstemperatur auszugleichen, verfügt der PVC4000 über einen Temperaturkompensationsalgorithmus, der seine Eingabe von einer eingebauten Temperatur bezieht Sensor. Zusätzlich verhindert ein gepulstes Anregungsschema, bei dem der Sensorchip etwa 100 ms lang erhitzt und dann eine Sekunde lang ausgeschaltet wird, eine Signaldrift aufgrund von Eigenerwärmung und verringert auch den Stromverbrauch des Wandlers.

Der heute vorgestellte Wandler ist ideal für digitale Vakuummeter. Für diese Anwendungen kombiniert das Gerät einen geringen Stromverbrauch mit extrem schnellen Reaktionszeiten von <1.2 s und einem weiten effektiven Bereich von 1 Millitorr (0.13 Pa) bis 1 atm (760 Torr oder 101 kPa). Leser können sich an Posifa wenden, um Optionen zum Anpassen der Wandlerspezifikationen zu besprechen.

Muster und Produktionsstückzahlen des PVC4000 sind ab sofort verfügbar. Muster können auf der Kontaktseite von Posifa Technologies angefordert werden.