新しいシリコン光導波路プロセス技術

タワー 半導体 シリコンフォトニック光ジャイロスコープの開発者であるアネロ・フォトニクスと、新しい低損失シリコン光導波路を開発するための戦略的パートナーシップを発表した。 テクノロジー そして製造工程。

プロセスのファウンドリバージョンは、自動車用LiDAR、バイオセンシング、量子コンピューティング、人工知能、マイクロ波フォトニクス、高性能光デバイスの複雑な統合を必要とする光通信など、幅広い市場での採用を可能にします。

低損失の窒化ケイ素導波路プロセスは、曲げ半径が0.005mm未満の1550nmの波長で1dB / cmの伝搬損失に近づきます。 このプロセスは、1550nmと1310nmの両方の波長に対して、コンパクトな曲げ半径で他の商用ファウンドリプロセスよりもXNUMX〜XNUMX桁低い損失を実現します。

低損失と小さな曲げ半径の組み合わせにより、長い（> 10m）遅延ラインや、100億を超える高品質係数（高Q）を備えた小さなオンチップ共振器など、新しいクラスの高性能デバイスの製造が可能になります。

さまざまな光学アプリケーションはすべて、この新しい低損失プロセスによって提供される画期的な機能の恩恵を受けることができます。

「タワー社にとってシリコンフォトニクスは戦略的であり、多くの急成長する最終市場において唯一のイネーブラーです。 タワーはこの分野に多額の投資を行っています」とタワーのラッセル・エルワンガー氏は述べています。 半導体 最高経営責任者（CEO。 「Anelloとの連携は、Towerが実績ある業界専門家と選択的に提携してプロセス技術の開発と拡張を行っている例の一例です。」

AnelloPhotonicsとTowerSemiconductorは、過去XNUMXか月にわたってこのプロセスを開発しました。また、AnelloのSiPhOGジャイロスコープは、このプロセスを利用して、従来の光ファイバージャイロスコープに見られる光ファイバーを直接置き換えます。

このプロセスのファウンドリバージョンは、2022年の初めにTowerから顧客に提供されています。

AnelloのCEO兼共同創設者であるMarioPanicciaは、次のように述べています。