Новая технология обработки кремниевых оптических волноводов

Башня Полупроводниковое и Anello Photonics, разработчик кремниевого фотонного оптического гироскопа, объявили о стратегическом партнерстве для разработки нового кремниевого оптического волновода с низкими потерями. technology и производственный процесс.

Литейная версия процесса позволит внедрить его в широком диапазоне рынков, таких как автомобильный LiDAR, био-зондирование, квантовые вычисления, искусственный интеллект, микроволновая фотоника и оптическая связь, которые требуют сложной интеграции высокопроизводительных оптических устройств.

Волноводный процесс из нитрида кремния с низкими потерями приближается к потерям на распространение 0.005 дБ / см на длинах волн 1550 нм с радиусом изгиба менее 1 мм. Этот процесс обеспечивает на один-два порядка меньшие потери, чем другие коммерческие литейные процессы, при компактном радиусе изгиба для длин волн как 1550 нм, так и 1310 нм.

Сочетание низких потерь с малым радиусом изгиба позволяет изготавливать новый класс высокопроизводительных устройств, включая длинные (> 10 м) линии задержки и крошечные встроенные резонаторы с высоким коэффициентом качества (высокой добротностью), превышающим 100 миллионов.

Целый ряд оптических приложений может выиграть от революционных возможностей, предоставляемых этим новым процессом с низкими потерями.

«Кремниевая фотоника имеет стратегическое значение для Tower, поскольку она является уникальным инструментом на многочисленных быстрорастущих конечных рынках. Tower вкладывает значительные средства в эту область», — сказал Рассел Элвангер, Tower Полупроводниковое ГЕНЕРАЛЬНЫЙ ДИРЕКТОР. «Работа с Anello — это пример того, как Tower выборочно сотрудничает с проверенными отраслевыми экспертами для разработки и масштабирования технологических процессов».

Anello Photonics и Tower Semiconductor разработали этот процесс в течение последних восемнадцати месяцев, а гироскоп SiPhOG от Anello использует этот процесс для прямой замены оптического волокна в традиционных волоконно-оптических гироскопах.

Литейная версия этого процесса будет предложена Tower своим клиентам в начале 2022 года.

«Это объявление представляет собой прорыв в области оптической передачи данных с низкими потерями на кремнии, позволяющий создавать множество новых продуктов на основе кремния, которые ранее не считались практичными с интегрированной технологией изготовления фотоники», - сказал Марио Паничча, генеральный директор и соучредитель Anello.