Nieuwe procestechnologie voor optische golfgeleiders van silicium

Tower Halfgeleider and Anello Photonics, the developer of the Silicon Photonic Optical Gyroscope, have announced a strategic partnership to develop a new low-loss Silicon Optical Waveguide technologie en productieproces.

De gieterijversie van het proces zal acceptatie in een breed scala van markten mogelijk maken, zoals: automotive LiDAR, bio-sensing, kwantumcomputing, kunstmatige intelligentie, microgolffotonica en optische communicatie die complexe integratie van hoogwaardige optische apparaten vereisen.

Het verliesarme siliciumnitride-golfgeleiderproces benadert het voortplantingsverlies van 0.005 dB/cm bij 1550 nm golflengten met een buigradius van minder dan 1 mm. Dit proces levert een tot twee orden van grootte lager verlies op dan andere commerciële gieterijprocessen bij een compacte buigradius voor zowel 1550nm als 1310nm golflengten.

De combinatie van laag verlies en een kleine buigradius maakt de fabricage mogelijk van een nieuwe klasse van hoogwaardige apparaten, waaronder lange (>10m) vertragingslijnen en kleine on-chip resonatoren met hoge kwaliteitsfactoren (hoge Q) van meer dan 100 miljoen.

Een reeks optische toepassingen zou allemaal kunnen profiteren van de baanbrekende mogelijkheden die dit nieuwe verliesarme proces biedt.

“Silicon photonics is strategic for Tower being a singular enabler in numerous fast-growing end-markets. Tower invests heavily in this area,” said Russell Ellwanger, Tower Halfgeleider CEO. “Working with Anello is an example of how Tower selectively partners with proven industry experts to develop and scale process technology.”

Anello Photonics en Tower Semiconductor hebben dit proces de afgelopen achttien maanden ontwikkeld en de SiPhOG-gyroscoop van Anello gebruikt het proces om de optische vezel die in traditionele glasvezelgyroscopen wordt aangetroffen, rechtstreeks te vervangen.

Een gieterijversie van dit proces wordt begin 2022 door Tower aan haar klanten aangeboden.

"Deze aankondiging betekent een doorbraak in optische transmissie met laag verlies op silicium, waardoor een verscheidenheid aan nieuwe op silicium gebaseerde producten mogelijk worden gemaakt die voorheen niet als praktisch werden beschouwd met geïntegreerde fotonica-fabricagetechnologie", aldus Mario Paniccia, CEO en mede-oprichter van Anello.