Neue Silizium-Lichtwellenleiter-Prozesstechnologie

Update: 2. November 2021

Neue Silizium-Lichtwellenleiter-Prozesstechnologie

Neue Silizium-Lichtwellenleiter-Prozesstechnologie

Tower Halbleiter und Anello Photonics, der Entwickler des Silicon Photonic Optical Gyroskops, haben eine strategische Partnerschaft zur Entwicklung eines neuen verlustarmen optischen Silizium-Wellenleiters angekündigt Technologie und Herstellungsprozess.

Die Foundry-Version des Prozesses wird die Einführung in eine Vielzahl von Märkten ermöglichen, wie zum Beispiel: Automobil-LiDAR, Biosensorik, Quantencomputer, künstliche Intelligenz, Mikrowellenphotonik und optische Kommunikation, die eine komplexe Integration optischer Hochleistungsgeräte erfordern.

Der verlustarme Siliziumnitrid-Wellenleiterprozess erreicht einen Ausbreitungsverlust von 0.005 dB/cm bei Wellenlängen von 1550 nm mit einem Biegeradius von weniger als 1 mm. Dieser Prozess liefert ein bis zwei Größenordnungen niedrigere Verluste als andere kommerzielle Gießereiprozesse bei einem kompakten Biegeradius sowohl für die Wellenlängen von 1550 nm als auch 1310 nm.

Die Kombination aus geringem Verlust und kleinem Biegeradius ermöglicht die Herstellung einer neuen Klasse von Hochleistungsgeräten, einschließlich langer (> 10 m) Verzögerungsleitungen und winziger On-Chip-Resonatoren mit hohen Qualitätsfaktoren (hoher Q) von über 100 Millionen.

Eine Reihe optischer Anwendungen könnte alle von den bahnbrechenden Fähigkeiten dieses neuen verlustarmen Prozesses profitieren.

„Die Siliziumphotonik ist für Tower von strategischer Bedeutung, da sie ein einzigartiger Wegbereiter in zahlreichen schnell wachsenden Endmärkten ist. Tower investiert stark in diesen Bereich“, sagte Russell Ellwanger, Tower Halbleiter CEO. „Die Zusammenarbeit mit Anello ist ein Beispiel dafür, wie Tower selektiv mit bewährten Branchenexperten zusammenarbeitet, um Prozesstechnologie zu entwickeln und zu skalieren.“

Anello Photonics und Tower Semiconductor haben dieses Verfahren in den letzten achtzehn Monaten entwickelt, und das SiPhOG-Gyroskop von Anello verwendet dieses Verfahren, um die in einem herkömmlichen faseroptischen Gyroskop gefundene Glasfaser direkt zu ersetzen.

Eine Gießereiversion dieses Verfahrens bietet Tower seinen Kunden Anfang 2022 an.

„Diese Ankündigung stellt einen Durchbruch bei der verlustarmen optischen Übertragung auf Silizium dar und ermöglicht eine Vielzahl neuer siliziumbasierter Produkte mit integrierter Photonik-Fertigungstechnologie, die bisher als nicht praktikabel angesehen wurden“, sagte Mario Paniccia, CEO und Mitbegründer von Anello.