Intel memasang mesin High NA EUV yang pertama

Kemas kini: 20 April 2024 Tags:2508acipmemanduekoelicltteknologi

Mesin bernilai $373 juta itu, bersaiz bas dua tingkat dan seberat lebih 150 tan metrik, telah diangkut ke Oregon dalam lebih daripada 250 peti di dalam 43 kontena pengangkutan. Ini telah dimuatkan ke beberapa pesawat kargo yang mendarat di Seattle. Mereka kemudiannya dipindahkan ke 20 trak untuk memandu ke Oregon. Jumlah berat setiap sistem baharu adalah lebih daripada 150 tan metrik.

"Dengan penambahan High NA EUV, Intel akan mempunyai kotak alat litografi yang paling lengkap dalam industri, membolehkan syarikat memacu keupayaan proses masa depan melebihi Intel 18A ke separuh kedua dekad ini," kata Mark Phillips, Intel Fellow dan pengarah Litografi, Perkakasan dan Penyelesaian untuk Intel Foundry Logic Teknologi Pembangunan.

Intel merancang untuk menggunakan mesin itu dalam pembangunan cip generasi 14A pada 2025, dengan pengeluaran awal dijangka pada 2026 dan pengeluaran komersial penuh pada 2027.

NA EUV yang tinggi dijangka dapat mencetak ciri sehingga 1.7x lebih kecil daripada alat EUV sedia ada. Ini akan membolehkan penskalaan ciri 2D, menghasilkan sehingga 2.9x lebih ketumpatan.

Berbanding dengan 0.33NA EUV, High NA EUV (atau 0.55NA EUV) boleh memberikan kontras pengimejan yang lebih tinggi untuk ciri serupa, yang membolehkan kurang cahaya setiap pendedahan, dengan itu mengurangkan masa yang diperlukan untuk mencetak setiap lapisan dan meningkatkan output wafer.

Intel menjangka untuk menggunakan kedua-dua 0.33NA EUV dan 0.55NA EUV bersama-sama proses litografi lain dalam membangun dan mengeluarkan IC, bermula dengan titik bukti produk pada Intel 18A pada tahun 2025 dan meneruskan pengeluaran Intel 14A. 

Pendekatan Intel akan mengoptimumkan teknologi proses untuk kos dan prestasi.

Walaupun pengasas bersama Intel Gordon Moore merupakan penyokong awal konsep EUV, dan Intel menyumbang beberapa bilion dolar kepada pembangunannya di ASML, Intel lewat menggunakan alat EUV dalam pembuatan lebih suka menggunakan corak berbilang. Ini adalah kesilapan yang menyaksikan Intel tergelincir di belakang peneraju dalam teknologi proses.