Машина стоимостью 373 миллиона долларов, размером с двухэтажный автобус и весом более 150 тонн, была доставлена в Орегон в более чем 250 ящиках в 43 грузовых контейнерах. Их погрузили на несколько грузовых самолетов, которые приземлились в Сиэтле. Затем их пересадили в 20 грузовиков и отвезли в Орегон. Общий вес каждой новой системы составляет более 150 тонн.
«С добавлением High NA EUV Intel получит самый полный набор инструментов для литографии в отрасли, что позволит компании во второй половине этого десятилетия расширить возможности будущих процессов за пределами Intel 18A», — говорит Марк Филлипс, научный сотрудник Intel и директор по литографии, оборудованию и решениям Intel Foundry Logic Технологии Развитие.
Intel планирует использовать эту машину при разработке чипов поколения 14A в 2025 году, раннее производство ожидается в 2026 году, а полное коммерческое производство — в 2027 году.
Ожидается, что High NA EUV сможет печатать объекты в 1.7 раза меньше, чем существующие инструменты EUV. Это позволит масштабировать 2D-объекты, что приведет к увеличению плотности до 2.9 раз.
По сравнению с 0.33NA EUV, High NA EUV (или 0.55NA EUV) может обеспечить более высокий контраст изображения для аналогичных функций, что позволяет уменьшить количество света на экспозицию, тем самым сокращая время, необходимое для печати каждого слоя, и увеличивая выход пластины.
Intel планирует использовать как 0.33NA EUV, так и 0.55NA EUV наряду с другими процессами литографии при разработке и производстве микросхем, начиная с испытаний продукта на Intel 18A в 2025 году и продолжая производство Intel 14A.
Подход Intel позволит оптимизировать технологические процессы с точки зрения затрат и производительности.
Хотя соучредитель Intel Гордон Мур был одним из первых сторонников концепции EUV, а Intel вложила несколько миллиардов долларов в ее разработку в ASML, Intel опоздала с использованием инструментов EUV в производстве, предпочитая использовать несколько шаблонов. Это была ошибка, из-за которой Intel отстала от лидеров в области технологических процессов.