تم إنشاء محول فراغ MEMS من أجل تكامل OEM بتكلفة فعالة

التحديث: 1 أبريل 2021

أطلقت شركة Posifa Technologies سلسلة محول الطاقة الفراغي MEMS Pirani من سلسلة PVC4000 الجديدة. يتكون الجهاز ، الذي تم إنشاؤه من أجل تكامل OEM بتكلفة فعالة ، من مستشعر MEMS Pirani المثبت على السطح و متحكم- إلكترونيات القياس المستندة إلى - كلها موجودة في جهاز مدمج للغاية ثنائي الفينيل متعدد الكلور التجميع الذي يتميز بحزام سلك منتهي بموصل.

يعتمد عنصر المستشعر على الجيل الثاني من رقاقة التوصيل الحراري MEMS للشركة ، والتي تعمل وفقًا لمبدأ أن الموصلية الحرارية للغاز تتناسب مع ضغط الفراغ. تعمل إلكترونيات القياس القائمة على وحدة التحكم الدقيقة الخاصة بالمحول على تضخيم إشارة المستشعر ورقمنتها ، مما يعطي ناتجًا عبر واجهة I2C. تتيح الواجهة أيضًا للمستخدمين تخزين بيانات المعايرة في وحدة التحكم الدقيقة المستخدمة بواسطة خوارزمية خطية مدمجة متعددة العناصر لإعطاء إخراج معاير.

للتعويض عن الاختلافات في التوصيل الحراري بسبب التغيرات في درجة الحرارة المحيطة ، يوفر الجهاز خوارزمية تعويض درجة الحرارة ، والتي تأخذ مدخلاتها من مستشعر درجة حرارة مدمج. أيضًا ، نظام الإثارة النبضي ، حيث يتم تسخين شريحة المستشعر لحوالي 100 مللي ثانية ثم إيقاف تشغيلها لمدة ثانية واحدة ، يوقف انحراف الإشارة بسبب التسخين الذاتي ويقلل أيضًا من استهلاك الطاقة للمحول.

محول الطاقة مثالي لمقاييس الفراغ الرقمية. بالنسبة لهذه التطبيقات ، يجمع الجهاز بين استهلاك منخفض للطاقة وأوقات استجابة سريعة جدًا أقل من 1.2 ثانية ونطاق فعّال واسع من 1millitorr (0.13Pa) إلى 1atm (760torr ، أو 101 Pa).