Đầu dò chân không MEMS được tạo ra để tích hợp OEM tiết kiệm chi phí

Cập nhật: ngày 1 tháng 2021 năm XNUMX

Posifa Technologies đã ra mắt đầu dò chân không PVC4000 series MEMS Pirani mới của mình. Được tạo ra để tích hợp OEM với chi phí hiệu quả, thiết bị này bao gồm cảm biến MEMS Pirani gắn trên bề mặt và vi điều khiểnthiết bị điện tử đo lường dựa trên cơ sở - tất cả được chứa trong một thiết bị siêu nhỏ gọn pcb lắp ráp có tính năng dây nịt có đầu nối.

Phần tử cảm biến dựa trên chip dẫn nhiệt MEMS thế hệ thứ hai của công ty, hoạt động theo nguyên tắc độ dẫn nhiệt của khí tỷ lệ với áp suất chân không của nó. Điện tử đo dựa trên vi điều khiển của bộ chuyển đổi khuếch đại và số hóa tín hiệu của cảm biến, đưa ra đầu ra thông qua giao diện I2C. Giao diện này cũng cho phép người dùng lưu trữ dữ liệu hiệu chuẩn trong bộ vi điều khiển được sử dụng bởi thuật toán phân tích đường thẳng tích hợp sẵn để cung cấp đầu ra đã hiệu chuẩn.

Để bù đắp sự khác biệt về độ dẫn nhiệt do sự thay đổi của nhiệt độ xung quanh, thiết bị cung cấp thuật toán bù nhiệt độ, thuật toán này lấy đầu vào từ cảm biến nhiệt độ tích hợp. Ngoài ra, một sơ đồ kích thích xung, trong đó chip cảm biến được làm nóng trong khoảng 100ms và sau đó tắt trong một giây, ngăn chặn hiện tượng trôi tín hiệu do tự làm nóng và cũng làm giảm mức tiêu thụ điện năng của đầu dò.

Bộ chuyển đổi lý tưởng cho đồng hồ đo chân không kỹ thuật số. Đối với các ứng dụng này, thiết bị kết hợp mức tiêu thụ điện năng thấp với thời gian phản hồi rất nhanh <1.2 giây và phạm vi hiệu quả rộng từ 1millitorr (0.13Pa) đến 1atm (760torr, hoặc 101 Pa).