Uygun maliyetli OEM entegrasyonu için oluşturulan MEMS vakum dönüştürücü

Güncelleme: 1 Nisan 2021

Posifa Technologies, yeni PVC4000 serisi MEMS Pirani vakum transdüserini piyasaya sürdü. Uygun maliyetli OEM entegrasyonu için oluşturulan cihaz, yüzeye monte MEMS Pirani sensörü ve mikrotabanlı ölçüm elektroniği — hepsi ultra kompakt bir gövdede yer alıyor pcb Konektörle sonlandırılmış bir kablo demetine sahip düzenek.

Sensör elemanı, gazın termal iletkenliğinin vakum basıncıyla orantılı olduğu prensibine göre çalışan şirketin ikinci nesil MEMS termal iletim çipini temel alıyor. Dönüştürücünün mikrokontrolör tabanlı ölçüm elektroniği, sensörün sinyalini güçlendirip dijitalleştirerek bir I2C arayüzü aracılığıyla çıkış sağlar. Arayüz ayrıca kullanıcıların kalibrasyon verilerini, kalibre edilmiş çıktı vermek üzere yerleşik parçalı doğrusallaştırma algoritması tarafından kullanılan mikro denetleyicide saklamasına da olanak tanır.

Ortam sıcaklığındaki değişiklikler nedeniyle termal iletkenlikteki farklılıkları telafi etmek için cihaz, girdisini yerleşik bir sıcaklık sensöründen alan bir sıcaklık dengeleme algoritması sağlar. Ayrıca, sensör çipinin yaklaşık 100 ms süreyle ısıtıldığı ve ardından bir saniye süreyle kapatıldığı darbeli uyarma şeması, kendi kendine ısınma nedeniyle sinyal kaymasını durdurur ve ayrıca dönüştürücünün güç tüketimini azaltır.

Dönüştürücü dijital vakum göstergeleri için idealdir. Bu uygulamalar için cihaz, düşük güç tüketimini, <1.2 saniyelik çok hızlı yanıt süreleri ve 1 militorr (0.13Pa) ile 1atm (760torr veya 101 Pa) arasında geniş bir etkili aralıkla birleştirir.