Posifa Technologiesは、新しいPVC4000シリーズMEMSPirani真空トランスデューサを発売しました。 費用効果の高いOEM統合のために作成されたこのデバイスは、表面実装のMEMSPiraniセンサーと マイクロコントローラベースの測定電子機器—すべてが超コンパクトに含まれています PCB コネクタで終端されたワイヤーハーネスを備えたアセンブリ。
センサーエレメントは、ガスの熱伝導率が真空圧に比例するという原則の下で機能する、同社の第2世代MEMS熱伝導チップに基づいています。 トランスデューサのマイクロコントローラベースの測定電子機器は、センサーの信号を増幅およびデジタル化し、IXNUMXCインターフェイスを介して出力を提供します。 このインターフェースにより、ユーザーは、組み込みの区分的線形化アルゴリズムで使用されるマイクロコントローラーにキャリブレーションデータを保存して、キャリブレーションされた出力を得ることができます。
周囲温度の変化による熱伝導率の違いを補正するために、デバイスは、内蔵の温度センサーから入力を受け取る温度補正アルゴリズムを提供します。 また、センサーチップを約100ms加熱してからXNUMX秒間オフにするパルス励起方式により、自己発熱による信号ドリフトを停止し、トランスデューサーの消費電力を低減します。
トランスデューサーはデジタル真空計に最適です。 これらのアプリケーションの場合、このデバイスは、低消費電力と1.2秒未満の非常に高速な応答時間、および1ミリトール（0.13Pa）から1気圧（760torr、または101 Pa）までの広い有効範囲を兼ね備えています。