Trasduttore di vuoto MEMS creato per una conveniente integrazione OEM

Aggiornamento: 1 aprile 2021

Posifa Technologies ha lanciato il suo nuovo trasduttore di vuoto MEMS Pirani serie PVC4000. Creato per una conveniente integrazione OEM, il dispositivo comprende un sensore MEMS Pirani a montaggio superficiale e microcontrolloreelettronica di misura basata - il tutto contenuto in un ultracompatto pcb assieme che presenta un cablaggio terminato con connettore.

L'elemento sensore si basa sul chip a conduzione termica MEMS di seconda generazione dell'azienda, che funziona in base al principio che la conduttività termica del gas è proporzionale alla sua pressione di vuoto. L'elettronica di misura basata su microcontrollore del trasduttore amplifica e digitalizza il segnale del sensore, fornendo un'uscita tramite un'interfaccia I2C. L'interfaccia consente inoltre agli utenti di memorizzare i dati di calibrazione nel microcontrollore utilizzato da un algoritmo di linearizzazione a tratti integrato per fornire un output calibrato.

Per compensare le differenze di conduttività termica dovute alle variazioni della temperatura ambiente, il dispositivo fornisce un algoritmo di compensazione della temperatura, che prende il suo input da un sensore di temperatura integrato. Inoltre, uno schema di eccitazione pulsata, in cui il chip del sensore viene riscaldato per circa 100 ms e quindi spento per un secondo, arresta la deriva del segnale dovuta all'autoriscaldamento e riduce anche il consumo di energia del trasduttore.

Il trasduttore è ideale per vacuometri digitali. Per queste applicazioni, il dispositivo combina un basso consumo energetico con tempi di risposta molto rapidi di <1.2 secondi e un ampio intervallo effettivo da 1 millitorr (0.13 Pa) a 1 atm (760 torr o 101 Pa).