Transductor de vacío MEMS creado para una integración OEM rentable

Actualización: 1 de abril de 2021

Posifa Technologies ha lanzado su nuevo transductor de vacío MEMS Pirani serie PVC4000. Creado para una integración OEM rentable, el dispositivo comprende un sensor MEMS Pirani de montaje en superficie y microcontroladorelectrónica de medición basada en: todo contenido en un ultracompacto pcb conjunto que cuenta con un mazo de cables terminado en conector.

El elemento sensor se basa en el chip de conducción térmica MEMS de segunda generación de la empresa, que funciona según el principio de que la conductividad térmica del gas es proporcional a su presión de vacío. La electrónica de medición basada en microcontroladores del transductor amplifica y digitaliza la señal del sensor, dando salida a través de una interfaz I2C. La interfaz también permite a los usuarios almacenar datos de calibración en el microcontrolador utilizado por un algoritmo de linealización por partes integrado para proporcionar una salida calibrada.

Para compensar las diferencias en la conductividad térmica debido a cambios en la temperatura ambiente, el dispositivo proporciona un algoritmo de compensación de temperatura, que toma su entrada de un sensor de temperatura incorporado. Además, un esquema de excitación pulsada, en el que el chip del sensor se calienta durante unos 100 ms y luego se apaga durante un segundo, detiene la deriva de la señal debido al autocalentamiento y también reduce el consumo de energía del transductor.

El transductor es ideal para vacuómetros digitales. Para estas aplicaciones, el dispositivo combina un bajo consumo de energía con tiempos de respuesta muy rápidos de <1.2 sy un amplio rango efectivo de 1 militorr (0.13 Pa) a 1atm (760 torr o 101 Pa).