Преобразователь вакуума MEMS создан для рентабельной интеграции с OEM-производителями

Обновление: 1 апреля 2021 г.

Posifa Technologies представила новый вакуумный преобразователь Пирани MEMS серии PVC4000. Созданное для рентабельной интеграции OEM, устройство включает в себя МЭМС датчик Пирани для поверхностного монтажа и Микроконтроллер- измерительная электроника - все содержится в сверхкомпактном печатная плата сборка с жгутом проводов с разъемами.

Чувствительный элемент основан на микросхеме теплопроводности MEMS второго поколения, который работает по принципу, согласно которому теплопроводность газа пропорциональна его вакуумному давлению. Измерительная электроника преобразователя на основе микроконтроллера усиливает и оцифровывает сигнал датчика, выдавая выходной сигнал через интерфейс I2C. Интерфейс также позволяет пользователям сохранять данные калибровки в микроконтроллере, который используется встроенным алгоритмом кусочной линеаризации для получения откалиброванного выходного сигнала.

Чтобы компенсировать разницу в теплопроводности из-за изменений температуры окружающей среды, в устройстве предусмотрен алгоритм температурной компенсации, который получает входные данные от встроенного датчика температуры. Кроме того, схема импульсного возбуждения, при которой чип датчика нагревается в течение примерно 100 мс, а затем выключается на одну секунду, останавливает дрейф сигнала из-за самонагрева, а также снижает энергопотребление преобразователя.

Преобразователь идеально подходит для цифровых вакуумметров. Для этих приложений устройство сочетает в себе низкое энергопотребление с очень быстрым временем отклика <1.2 с и широким эффективным диапазоном от 1 миллиторр (0.13 Па) до 1 атм (760 Торр или 101 Па).