Transduser vakum MEMS dibuat untuk integrasi OEM yang hemat biaya

Pembaruan: 1 April 2021

Posifa Technologies telah meluncurkan transduser vakum baru seri PVC4000 MEMS Pirani. Dibuat untuk integrasi OEM yang hemat biaya, perangkat ini terdiri dari sensor Pirani MEMS yang dipasang di permukaan dan mikrokontrolerelektronik pengukur berbasis - semua terkandung dalam ultra-kompak PCB rakitan yang dilengkapi harnes kabel yang diakhiri konektor.

Elemen sensor didasarkan pada chip konduksi termal MEMS generasi kedua perusahaan, yang berfungsi berdasarkan prinsip bahwa konduktivitas termal gas sebanding dengan tekanan vakumnya. Elektronik pengukur berbasis mikrokontroler transduser memperkuat dan mendigitalkan sinyal sensor, memberikan keluaran melalui antarmuka I2C. Antarmuka juga memungkinkan pengguna untuk menyimpan data kalibrasi di mikrokontroler yang digunakan oleh algoritme linierisasi sebagian bawaan untuk memberikan keluaran yang dikalibrasi.

Untuk mengimbangi perbedaan konduktivitas termal akibat perubahan suhu sekitar, perangkat menyediakan algoritme kompensasi suhu, yang mengambil inputnya dari sensor suhu internal. Selain itu, skema eksitasi berdenyut, di mana chip sensor dipanaskan sekitar 100 ms dan kemudian dimatikan selama satu detik, menghentikan penyimpangan sinyal karena pemanasan sendiri dan juga mengurangi konsumsi daya transduser.

Transduser ideal untuk pengukur vakum digital. Untuk aplikasi ini, perangkat menggabungkan konsumsi daya rendah dengan waktu respons yang sangat cepat <1.2s dan rentang efektif yang luas dari 1millitorr (0.13Pa) hingga 1atm (760torr, atau 101 Pa).