Transduser vakum MEMS dicipta untuk integrasi OEM yang menjimatkan

Kemas kini: 1 April 2021

Posifa Technologies telah melancarkan transduser vakum MEMS Pirani siri PVC4000 barunya. Dicipta untuk integrasi OEM yang menjimatkan, peranti ini terdiri daripada sensor MEMS Pirani yang dipasang di permukaan dan mikropengawal- elektronik pengukur berdasarkan - semua terdapat dalam ultra kompak PCB pemasangan yang dilengkapi dengan tali wayar yang dihubungkan dengan penyambung.

Elemen sensor didasarkan pada cip konduksi termal MEMS generasi kedua syarikat, yang berfungsi berdasarkan prinsip bahawa kekonduksian terma gas sebanding dengan tekanan vakumnya. Elektronik pengukur berasaskan mikrokontroler transduser memperkuat dan mendigitalkan isyarat sensor, memberikan output melalui antara muka I2C. Antaramuka ini juga membolehkan pengguna menyimpan data penentukuran dalam mikrokontroler yang digunakan oleh algoritma linearisasi kepingan bawaan untuk memberikan output yang dikalibrasi.

Untuk mengimbangi perbezaan kekonduksian terma akibat perubahan suhu persekitaran, peranti ini menyediakan algoritma kompensasi suhu, yang mengambil inputnya dari sensor suhu terpasang. Juga, skema pengujaan berdenyut, di mana cip sensor dipanaskan selama kira-kira 100 ms dan kemudian dimatikan selama satu saat, menghentikan arus isyarat kerana pemanasan sendiri dan juga mengurangkan penggunaan kuasa transduser.

Transduser sangat sesuai untuk alat pengukur vakum digital. Untuk aplikasi ini, peranti ini menggabungkan penggunaan tenaga yang rendah dengan masa tindak balas yang sangat pantas <1.2s dan julat efektif yang luas dari 1millitorr (0.13Pa) hingga 1atm (760torr, atau 101 Pa).