비용 효율적인 OEM 통합을 위해 만들어진 MEMS 진공 변환기

업데이트: 1년 2021월 XNUMX일

Posifa Technologies는 새로운 PVC4000 시리즈 MEMS Pirani 진공 변환기를 출시했습니다. 비용 효율적인 OEM 통합을 위해 제작 된이 장치는 표면 실장 MEMS Pirani 센서와 마이크로 컨트롤러기반 측정 전자 장치 — 모두 초소형 PCB 커넥터 종단 와이어 하니스를 특징으로하는 어셈블리.

센서 소자는 회사의 2 세대 MEMS 열전도 칩을 기반으로하며, 가스의 열전도율은 진공 압력에 비례한다는 원칙하에 작동합니다. 변환기의 마이크로 컨트롤러 기반 측정 전자 장치는 센서의 신호를 증폭하고 디지털화하여 IXNUMXC 인터페이스를 통해 출력을 제공합니다. 또한이 인터페이스를 통해 사용자는 보정 된 출력을 제공하기 위해 내장 된 부분 선형화 알고리즘이 사용하는 마이크로 컨트롤러에 보정 데이터를 저장할 수 있습니다.

주변 온도 변화로 인한 열전도율 차이를 보상하기 위해 장치는 내장 된 온도 센서에서 입력을받는 온도 보상 알고리즘을 제공합니다. 또한 센서 칩을 약 100ms 동안 가열 한 다음 XNUMX 초 동안 끄는 펄스 여기 방식은 자체 발열로 인한 신호 드리프트를 중지하고 변환기의 전력 소비를 줄입니다.

변환기는 디지털 진공 게이지에 이상적입니다. 이러한 애플리케이션을 위해이 장치는 낮은 전력 소비와 1.2 초 미만의 매우 빠른 응답 시간 및 1 밀리 토르 (0.13Pa)에서 1atm (760torr 또는 101Pa)까지의 광범위한 유효 범위를 결합합니다.